MOCVD石墨盘、LED外延托盘、石墨基座Veeco,AIXTRON,Thomas Swan

在LED和MOCVD（金属化学气相沉积）外延工艺中，石墨基盘和石墨托盘是关键部件。这些石墨制品具有高纯度、高导热性、耐高温和良好的化学稳定性，能够显著提升外延层的质量和生产效率。弘信新材石墨作为国内的石墨解决方案，拥有多年的石墨盘加工经验。可匹配Veeco,AIXTRON,Thomas Swan等设备。GaN外延石墨托盘、蓝宝石衬底承载盘
产品特性
高纯度材料：采用高纯石墨制成，自有纯化纯度高达99.9%6N以上，确保在高温环境下不污染外延层。
高导热性：优异的导热性能，能够快速传导热量，保外延层的均匀生长。
耐高温：可在高达2200°C的温度下稳定使用，适用于MOCVD和LED外延工艺。
化学稳定性：具有良好的抗腐蚀性，即使在高温和化学反应环境中也能保持稳定。
定制化服务：可根据客户的具体需求，提供不同尺寸和形状的石墨基盘和托盘。
应用领域
LED外延：用于蓝光、绿光LED芯片的外延生长，提升外延层的质量和效率。
MOCVD工艺：作为反应腔内的关键部件，承载衬底并提供稳定的生长环境。
化合物半导体外延：适用于GaN、SiC等化合物半导体的外延生长。
技术优势
加工：采用加工技术，确保基盘和托盘的表面平整度和尺寸精度。
涂层技术：部分产品表面涂覆碳化硅（SiC）涂层，进一步提高耐腐蚀性和使用寿命。
优化热场分布：通过优化石墨基盘的设计，减少热应力，提升外延层的均匀性和质量